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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH105579(A) 申请公布日期 1998.01.13
申请号 JP19960166107 申请日期 1996.06.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIKAWA KAZUYASU;TAKI MASAKAZU;ODERA HIROKI;OMORI TATSUO
分类号 H05H1/46;B01J19/08;C23C16/50;C23C16/515;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):B01J19/08;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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