| 发明名称 |
PRODUCTION OF SP3 BOND TYPE BORON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH107409(A) |
申请公布日期 |
1998.01.13 |
| 申请号 |
JP19960184097 |
申请日期 |
1996.06.25 |
| 申请人 |
NATL INST FOR RES IN INORG MATER |
发明人 |
MATSUMOTO SEIICHIRO |
| 分类号 |
B23B27/14;C01B21/064;C23C14/22;C23C16/38;H01L21/205;(IPC1-7):C01B21/064 |
主分类号 |
B23B27/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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