| 发明名称 |
DEVICE APPLYING THIN COATING TO SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH108247(A) |
申请公布日期 |
1998.01.13 |
| 申请号 |
JP19970060303 |
申请日期 |
1997.03.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD SYST GMBH |
发明人 |
SZCZYRBOWSKI JOACHIM DR;TESCHNER GOETZ;BRUCH JUERGEN |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/00;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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