| 发明名称 |
Dispositivo para a aplicação de camadas delgadas sobre um substrato |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR9601309(A) |
申请公布日期 |
1998.01.13 |
| 申请号 |
BR19960001309 |
申请日期 |
1996.04.10 |
| 申请人 |
LEYBOLD AKTIEGESELLSCHAFT |
发明人 |
MANFRED SCHUMACHER;ERWIN WINTER;ANDREAS SAUER;DIETMAR MARQUARDT |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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