| 主权项 |
1.一种光罩与工件之位置对准方法,其特征为:从光照射部对光罩之光罩位置对准标志照射非曝光用光或曝光用光,检测成像在工件上之上述光罩位置对准标志之图像及工件之工件位置对准标志,对工件面成平行之互相直交的两方向及包含该两方向之平面成垂直的轴作为旋转轴,使光罩及/或工件移动,旋转来使两位置对准标志重叠,藉以对准光罩与工件之位置之方法中,分别检测设在工件上之两处之工件位置对准标志并将该位置做为第1之位置而记忆,使工件旋转预定之第1之角度,在该旋转后,再度分别检测设在工件上之两处之上述位置对准标志,并将该位置记忆成为第2之位置,根据上述第1之位置及第2之位置资料以及上述第1之角度,求设在工件上之两处之工件位置对准标志间之距离,根据上述工件位置对准标志间之距离资料,求通过上述工件上之两处工件位置对准标志之直线,及通过两处之光罩位置对准标志之直线所形成之第2之角度,将光罩或工件以上述旋转轴为中心而旋转上述第2之角度,在该旋转之后,检测出成像于工件上之光罩位置对准标志之图像与工件位置对准标志,移动光罩及/或工件来使该两位置对准标志重叠者。2.一种光罩与工件之位置对准装置,其特征为:具备有:光罩台(stage),系至少具有两个光罩位置对准标志之光罩,及将该光罩,向平行于光罩面之,互相直交之两方向及包含该两方向之平面成垂直的轴为旋转轴之旋转方向移动、旋转者;工件台,系至少具有两个工件位置对准标志之工件,该工件,工件面平行的互相直交之该两方向以及包含该两方向之平面成垂直的轴为旋转轴之旋转方向移动、旋转者;光照射部,系对工件位置对准标志照射曝光用光或非曝光用光;检测装置,系将上述光罩位置对准标志对工件上之投影图像予以受像之同时,将工件位置对准标志予以受像者;控制装置,系根据由上述检测装置所受像之图像资料来移动光罩及/或工件台;上述控制装置系由上述检测装置所受像之工件位置对准标志之图像资料,分别检测设在工件上之两处之各工件位置对准标志之位置而做为第1之位置而记忆,驱动工件台,使工件旋转预定之第1之角度,在该旋转后,根据由上述检测装置所受像之工件位置对准标志之图像资料,分别检测设在工件上之两处之各位置对准标志,并将该位置记忆成为第2之位置,根据上述第1,第2之位置资料以及第1之角度,算出工件上之两处之工件位置对准标志间之距离,根据上述所算出之距离资料,求通过上述工件上之两处工件位置对准标志之直线,及通过两处之光罩位置对准标志之直线所形成之第2之角度,根据上述第2之角度,移动光罩及/或工件台来移动光罩及/或工件藉以使光罩位置对准标志之图像与工件位置对准标志重叠者。3.如申请专利范围第2项之光罩与工件之位置对准装置,其中上述控制装置为,工件上之工件位置对准标志间之距离在预定之范围外时,停止后续步骤之同时,发出异常检测讯号者。图示简单说明:第一图系显示本发明之适用对象之一之投影曝光装置之构成之图。第二图系显示控制在第一图中所示投影曝光装置之系统之构成之图。第三图系显示工件位置对准标志与工件旋转中心之关系之图。第四图系说明算出第三图(a)时之位置偏差量之图。第五图系说明算出第三图(b)时之位置偏差量之图。第六图系说明算出第三图(b)时之位置偏差量之图。第七图系说明算出第三图(b)时之位置偏差量之图。第八图系说明先前之算出位置偏差量之图。 |
