发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR DETECTING OBJECTS BY MEANS OF DIFFRACTED RADIATION
摘要 <p>Bei einem Verfahren und einer Anordnung zur Detektion von Objekten mit mindestens zum Teil kleinen Abmessungen (8), insbesondere dünnen fadenförmigen Objekten (8), die sich an einem Ort einer Messstrecke (3) befinden, ist vorgesehen, dass die Messstrecke (3) von einem optischen Strahl (1) gebildet wird und dass durch das Objekt (8) gebeugte Strahlung (9-12) am Ende der Messstrecke einem optoelektrischen Wandler (13) zugeführt wird, dessen Ausgangssignal ausgewertet wird.</p>
申请公布号 WO1998000734(A1) 申请公布日期 1998.01.08
申请号 DE1997001357 申请日期 1997.06.27
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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