发明名称 Zerstäubungstarget aus Mo-Ta oder W-Ta
摘要
申请公布号 DE3855981(T2) 申请公布日期 1998.01.08
申请号 DE19883855981T 申请日期 1988.03.30
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 FUKASAWA, YOSHIHARU, SAIWAI-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KAWAI, MITUO, SAIWAI-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;ISHIHARA, HIDEO, SAIWAI-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;UMEKI, TAKENORI, SAIWAI-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;OANA, YASUHISA, SAIWAI-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C23C14/14;C22C27/02;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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