发明名称 Hochintegrierter Halbleiterspeicher und Verfahren zur Herstellung des Halbleiterspeichers
摘要
申请公布号 DE19600307(C1) 申请公布日期 1998.01.08
申请号 DE19961000307 申请日期 1996.01.05
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 KERBER, MARTIN, DR.RER.NAT., 81827 MUENCHEN, DE
分类号 H01L27/115;G11C16/02;H01L21/8247;H01L29/00;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115;H01L21/824 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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