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发明名称 SINGLE-ETCH STOP PROCESS FOR THE MANUFACTURE OF SILICON-ON-INSULATOR WAFERS
摘要
申请公布号 EP0815592(A1) 申请公布日期 1998.01.07
申请号 EP19960910490 申请日期 1996.03.21
申请人 SIBOND, L.L.C. 发明人 IYER, SUBRAMANIAN, S.;BARAN, EMIL;MASTROIANNI, MARK, L.;CRAVEN, ROBERT, A.
分类号 H01L21/306;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/322;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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