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发明名称 PHOTOIONIC MICROHEAD DEVICE
摘要
申请公布号 EP0815281(A1) 申请公布日期 1998.01.07
申请号 EP19960908158 申请日期 1996.03.20
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ELOY, JEAN-FRANCOIS, ALBERT
分类号 C23C14/04;C23C14/28;C23C14/32;C23C24/10;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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