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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH104087(A) 申请公布日期 1998.01.06
申请号 JP19960154658 申请日期 1996.06.14
申请人 SONY CORP 发明人 MUROYAMA MASAKAZU
分类号 H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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