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发明名称 FLOWMETER
摘要
申请公布号 JPH102768(A) 申请公布日期 1998.01.06
申请号 JP19960174276 申请日期 1996.06.13
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 UENAKA KENGO;JIYOUSADA TADAYUKI
分类号 G01F1/22;(IPC1-7):G01F1/22 主分类号 G01F1/22
代理机构 代理人
主权项
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