POSITION-MEASURING APPARATUS AND PATTERN-MEASURING APPARATUS,申请号JP19960175596-传众专利搜索

发明名称	POSITION-MEASURING APPARATUS AND PATTERN-MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH102719(A)	申请公布日期	1998.01.06
申请号	JP19960175596	申请日期	1996.06.14
申请人	NIKON CORP	发明人	OOKUBO YOSHIHARU
分类号	G01B11/00;G01B9/02;G01B11/24;G01B11/245;(IPC1-7):G01B11/00	主分类号	G01B11/00
代理机构		代理人
主权项
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