发明名称 VERTICAL REACTOR
摘要
申请公布号 JPH104066(A) 申请公布日期 1998.01.06
申请号 JP19960152623 申请日期 1996.06.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MURAKAMI KENYA
分类号 H01L21/22;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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