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发明名称
Scanning probe microscope using stored data for vertical probe positioning
摘要
申请公布号
US5308974(B1)
申请公布日期
1998.01.06
申请号
US19920982871
申请日期
1992.11.30
申请人
DIGITAL INSTRUMENTS, INC.
发明人
ELINGS, VIRGIL, B.;GURLEY, JOHN, A.
分类号
G01N37/00;G01B7/00;G01B7/34;G01B21/30;G01N27/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q40/00;G11B9/14;H01J3/14;H01J37/28;(IPC1-7):H01J3/14
主分类号
G01N37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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