发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH104142(A) |
申请公布日期 |
1998.01.06 |
申请号 |
JP19960156481 |
申请日期 |
1996.06.18 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
GOMI TAKAYUKI;YASUSHIGE HIROAKI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/822 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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