| 发明名称 |
FORMATION OF CRYSTAL SILICON THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH101393(A) |
申请公布日期 |
1998.01.06 |
| 申请号 |
JP19960148936 |
申请日期 |
1996.06.11 |
| 申请人 |
DAIDO HOXAN INC |
发明人 |
YOKOYAMA TAKASHI;YAMAMOTO KAZUMA;MISHIMA TAKAHIRO;MATSUDA TAKESHI;ITO SHIGEKI |
| 分类号 |
C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B29/06 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
