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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH104094(A) 申请公布日期 1998.01.06
申请号 JP19960175600 申请日期 1996.06.14
申请人 SONY CORP 发明人 MITSUNE KAZUHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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