发明名称 |
DEPOSITED FILM FORMING METHOD AND DEPOSITED FILM FORMING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH101775(A) |
申请公布日期 |
1998.01.06 |
申请号 |
JP19960113275 |
申请日期 |
1996.04.10 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
YAMAGAMI ATSUSHI;TAKAGI SATOSHI |
分类号 |
G03G5/08;C23C16/50;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
G03G5/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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