| 发明名称 |
Werkwijze voor het verhinderen van corrosie na etsen van een film van aluminium of aluminiumlegering. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL192927(B) |
申请公布日期 |
1998.01.05 |
| 申请号 |
NL19810002678 |
申请日期 |
1981.06.02 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA AND INSTRUMENT CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
C23F4/00;C23F11/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F11/02;C23F1/20 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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