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发明名称 Plasmaquelle und Herstellungsverfahren
摘要
申请公布号 DE69312145(T2) 申请公布日期 1998.01.02
申请号 DE19936012145T 申请日期 1993.04.01
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC., DALLAS, TEX., US 发明人 PARANJPE, AJIT P., DALLAS, TX 75243, US
分类号 H01J37/08;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
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