发明名称 Chemisch verstärktes Photolack-Material
摘要
申请公布号 DE69125634(T2) 申请公布日期 1998.01.02
申请号 DE1991625634T 申请日期 1991.01.24
申请人 WAKO PURE CHEMICAL INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 URANO, FUMIYOSHI, NIIZA-SHI, JP;NAKAHATA, MASAAKI, KAWAGOE-SHI, JP;FUJIE, HIROTOSHI, IRUMA-GUN, SAITAMA-KEN, JP;OONO, KEIJI, SAKADO-SHI, JP
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/039;G03F7/075 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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