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经营范围
发明名称
Magnetronsputteranlage
摘要
申请公布号
DE69031743(D1)
申请公布日期
1998.01.02
申请号
DE19906031743
申请日期
1990.01.30
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
ARITA, YOJI, YOKOHAMA-SHI, NANAGAWA-KEN, JP
分类号
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
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