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发明名称 Gerät zum Nachweis fremder Teilchen
摘要
申请公布号 DE69128224(D1) 申请公布日期 1998.01.02
申请号 DE19916028224 申请日期 1991.09.11
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HAGIWARA, TSUNEYUKI, NERIMA-KU, TOKYO, JP;HAYANO, FUMINORI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88;G01N21/47 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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