整体式传感器

摘要

第一玻璃基板具有一引导被测流体压力的第一压力入口，该基板是设置在压力传感器膜片的一侧，以用来测量差压。第二玻璃基板是设置在第一基板的相对侧，该两基板间夹设有一隔离件。第二基板上与第一玻璃基板上第一压力入口相对的位置上设有一第二压力入口。第一导电薄膜和第二导电薄膜分别形成在第一和第二玻璃基板的两个相对的表面上。通过测量在两导电薄膜之间的目标流体的电导率和介电常数等能表示流体品质的物理常数，就可以探测流体的品质，由此，可提供一个能利用一个传感发送装置同时测量差压(流速)及流体品质的整体式传感器。

主权项

1.一种整体式传感器，包括：一压力传感器，它包括一可相应于被测目标物质的压力而发生偏移的膜片；一连接于所述膜片的第一基板，它具有一用来将所述被测物质的所述压力引导至所述膜片的第一压力入口，以及一形成在所述第一基板上的第一导电薄膜；一第二基板，它具有一用来将所述被测物质的所述压力经所述第一压力入口而引导至所述膜片的第二压力入口，以及一与所述第一导电薄膜相面对并且有预定间隔的第二导电薄膜；以及一信号处理装置，它用以测量填充在所述第一导电薄膜和所述第二导电薄膜之间的所述物质的电导率和介电常数两者中至少一个，并利用来自所述压力传感器的输出信号来测量所述物质的所述压力。