| 发明名称 |
METHOD OF DETERMINING INTERJUNCTION OXYGEN CONCENTRATION AND IRREGULARITY OF ITS DISTRIBUTION IN SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
PL172863(B1) |
申请公布日期 |
1997.12.31 |
| 申请号 |
PL19930301715 |
申请日期 |
1993.12.31 |
| 申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
PIOTROWSKI TADEUSZ;CZERNIACHOWSKIJ WITALIJ;MALUTENKO WLADYMIR |
| 分类号 |
G01N21/71;G01N33/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/71 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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