发明名称 Pump system and method for operating the same
摘要
申请公布号 EP0619431(B1) 申请公布日期 1997.12.29
申请号 EP19940104966 申请日期 1994.03.29
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 MURAI, YUKIO;TOGUCHI, SEIICHI
分类号 F04D15/00;F04D7/04;F04D15/02;F04D29/70;(IPC1-7):F04D15/00;F04D13/08 主分类号 F04D15/00
代理机构 代理人
主权项
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