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发明名称 Method for vapor deposition of a ceramic coating using a steam-containing carrier gas and non-alkoxy silane precursors
摘要
申请公布号 EP0671483(B1) 申请公布日期 1997.12.29
申请号 EP19950101918 申请日期 1995.02.13
申请人 ENICHEM S.P.A. 发明人 CLARK, TERENCE;CRUSE, RICHARD;ROHMAN, STEPHEN;MININNI, ROBERT
分类号 C23C16/30;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40;B01J19/02;C07F7/10 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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