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发明名称
PROCESS OF DEPOSITION OF FILMS OF HYDROGENIZED SILICON
摘要
申请公布号
RU2100477(C1)
申请公布日期
1997.12.27
申请号
RU19940039245
申请日期
1994.10.18
申请人
SHARAFUTDINOV RAVEL G;SKRYNNIKOV ALEKSANDR V;POLISAN ANDREJ A
发明人
SHARAFUTDINOV RAVEL G;SKRYNNIKOV ALEKSANDR V;POLISAN ANDREJ A
分类号
C23C16/24;C23C16/452;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/24
主分类号
C23C16/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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