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发明名称 Dispositif pour le montage et démontage d'une cible, cible pour ce dispositif, source pourvue de ce dispositif et de cette cible et chambre de traitement sous vide pourvue de cette source.
摘要
申请公布号 FR2717828(B1) 申请公布日期 1997.12.26
申请号 FR19950002713 申请日期 1995.03.08
申请人 BALZERS AG 发明人 URS SCHWENDENER
分类号 C23C14/24;C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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