| 发明名称 |
ELECTRON BEAM PATTERN-WRITING COLUMN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0813745(A1) |
申请公布日期 |
1997.12.29 |
| 申请号 |
EP19960943082 |
申请日期 |
1996.12.11 |
| 申请人 |
LEICA LITHOGRAPHY SYSTEMS LTD. |
发明人 |
CHISHOLM, THOMAS |
| 分类号 |
H01J37/12;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
H01J37/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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