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发明名称 Rapid thermal annealing
摘要
申请公布号 GB2314346(A) 申请公布日期 1997.12.24
申请号 GB19960013153 申请日期 1996.06.22
申请人 * NORTHERN TELECOM LIMITED 发明人 SURESHCHANDRA MISHRILAL * OJHA
分类号 C23C16/56;G02B6/12;G02B6/132;(IPC1-7):C23C16/56;G02B6/10 主分类号 C23C16/56
代理机构 代理人
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