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发明名称 CLEANING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR0111432(Y1) 申请公布日期 1997.12.23
申请号 KR19940015469U 申请日期 1994.06.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 LEE, JAE-HONG;INN, JUNG-HWAN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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