| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING SUBSTRATE USING DIFFRACTED LIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09329555(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
| 申请号 |
JP19970054687 |
申请日期 |
1997.03.10 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
ARAN EE EIYAA;JIYON ETSUCHI MATSUKOI;SUWA KYOICHI;HENRII KEI CHIYAU |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/47;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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