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发明名称 FORMATION OF PROTECTIVE FILM ON COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09330927(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960149437 申请日期 1996.06.11
申请人 NEC CORP 发明人 WAKEJIMA AKIO
分类号 C23C16/44;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/318 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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