| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRODUCTION SYSTEM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09330859(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
| 申请号 |
JP19960151311 |
申请日期 |
1996.06.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKAHASHI WATARU;UENO SHUJI |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
