| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09330919(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
| 申请号 |
JP19960149210 |
申请日期 |
1996.06.11 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TSUZUMI HIROAKI |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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