发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09331022(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960151936 申请日期 1996.06.13
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA MAMORU
分类号 H01L27/04;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/822;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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