发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING MULTICHIP MODULE SUBSTRATE, AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09331016(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
申请号 |
JP19960150880 |
申请日期 |
1996.06.12 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
MITARAI KAZUKO;HORIUCHI MITSUAKI;TANABE SHINICHI |
分类号 |
H01L23/538;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/522 |
主分类号 |
H01L23/538 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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