发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING MULTICHIP MODULE SUBSTRATE, AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09331016(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960150880 申请日期 1996.06.12
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 MITARAI KAZUKO;HORIUCHI MITSUAKI;TANABE SHINICHI
分类号 H01L23/538;H01L23/522;(IPC1-7):H01L23/522 主分类号 H01L23/538
代理机构 代理人
主权项
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