DEVICE AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT,申请号JP19960149288-传众专利搜索

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发明名称	DEVICE AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号	JPH09330909(A)	申请公布日期	1997.12.22
申请号	JP19960149288	申请日期	1996.06.11
申请人	KOMATSU LTD	发明人	AOYAMA IKUHITO
分类号	C23C16/44;C23F4/00;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320	主分类号	C23C16/44
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