| 发明名称 |
SINGLE-WAFER HEAT TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09330886(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
| 申请号 |
JP19960147366 |
申请日期 |
1996.06.10 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
CHIBA TAKATOSHI;ITO TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/31;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/31 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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