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发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09330914(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960150657 申请日期 1996.06.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 OMOTO YUTAKA
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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