| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR AND COMPOSITE TRANSMITTER USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09329516(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
| 申请号 |
JP19960144634 |
申请日期 |
1996.06.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHOJI YASUNORI;UKAI SEIICHI |
| 分类号 |
G01L1/18;G01L9/00;G01L9/04;G01L19/04;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/04 |
主分类号 |
G01L1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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