发明名称 CAPACITANCE CONSTITUTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09331024(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960168589 申请日期 1996.06.07
申请人 YOZAN:KK 发明人 ITO FUMITO;KOTOBUKI KOKURIYOU
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L27/08;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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