发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09330961(A) |
申请公布日期 |
1997.12.22 |
申请号 |
JP19960147274 |
申请日期 |
1996.06.10 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KITANO MAKOTO;ANJO ICHIRO;TANAKA HIDEKI;NISHIMURA ASAO;YAGUCHI AKIHIRO;TANAKA TADAYOSHI |
分类号 |
G01R1/06;H01L21/66;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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