发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09330981(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960150915 申请日期 1996.06.12
申请人 MITSUBISHI GAS CHEM CO INC;TEXAS INSTR JAPAN LTD 发明人 AOYAMA TETSUO;HASEMI TAKASHI;IKEDA HIDETOSHI;GOTO HIDETO;MIZOBUCHI KOICHI
分类号 H01L21/768;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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