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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH09330981(A)
申请公布日期
1997.12.22
申请号
JP19960150915
申请日期
1996.06.12
申请人
MITSUBISHI GAS CHEM CO INC;TEXAS INSTR JAPAN LTD
发明人
AOYAMA TETSUO;HASEMI TAKASHI;IKEDA HIDETOSHI;GOTO HIDETO;MIZOBUCHI KOICHI
分类号
H01L21/768;H01L21/304;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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