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发明名称 CVD METHOD OF TIN LAYER
摘要
申请公布号 JPH09330889(A) 申请公布日期 1997.12.22
申请号 JP19960147096 申请日期 1996.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 MIYAMOTO TAKAAKI;CHIBA YASUHIRO
分类号 C23C16/08;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C16/08
代理机构 代理人
主权项
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