| 发明名称 |
Cleaning method and cleaning apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG44844(A1) |
申请公布日期 |
1997.12.19 |
| 申请号 |
SG19960008647 |
申请日期 |
1991.03.15 |
| 申请人 |
JAPAN FIELD COMPANY, LTD.;KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
IMAJO YASUTAKA;INADA MINORU;KABUKI KIMIAKI |
| 分类号 |
B01D12/00;C08G65/00;C08L71/02;C11D1/29;C11D1/34;C11D1/40;C11D1/62;C11D1/74;C11D3/00;C11D3/16;C11D3/18;C11D3/20;C11D3/37;C11D3/43;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/28;C11D7/50;C11D11/00;C23G5/02;C23G5/024;C23G5/032;C23G5/04;H05K3/26;(IPC1-7):B08B3/08;C11D10/02;H01L21/304 |
主分类号 |
B01D12/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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