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经营范围
发明名称
Verfahren zur Entfernung von Polymeren aus Sacklöchern in Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号
DE69219998(T2)
申请公布日期
1997.12.18
申请号
DE19926019998T
申请日期
1992.10.23
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US
发明人
NGUYEN, LOI NGOC, DENTON COUNTY, TEXAS 75007, US;LIN, YIH-SHUNG, DENTON COUNTY, TEXAS 75010, US
分类号
H01L21/28;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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