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发明名称 Herstellverfahren für Verbindungsleitungen und Gates mit abgestufter Seitenwand
摘要
申请公布号 DE69220615(T2) 申请公布日期 1997.12.18
申请号 DE19926020615T 申请日期 1992.04.29
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 HATA, WILLIAM Y., MILPITAS, CALIFORNIA 95035, US
分类号 H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/60 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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